国家知识产权局信息显示，苏州宏点半导体科技有限公司取得一项名为“一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备”的专利K线猎手，授权公告号CN223386233U，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备，涉及半导体加工技术领域，该用于半导体加工设备的控压装置包括安装在机架体端部的安装顶板，安装顶板中开设有贯穿送料管道的孔洞，送料管道的端部固定连接有气料混合器，气料混合器固定连接在反应室的上方；本实用新型，通过送料管道上安装的流量监测传感器和进气电磁流量控制器，控制进气流量与压力，再配合回收管道上安装的出气电磁流量控制阀，控制出气压力以及流量，通过控制进料和出料的流量，对反应腔室中的压力大小进行精确控制，且每个送料管道的端部均设有控制结构，可以精确控制每种气体的进入量，进而提高对压力的控制效果。
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